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一种二维动磁式快速反射镜装置制造方法及图纸
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下载一种二维动磁式快速反射镜装置的技术资料
文档序号:30005921
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本实用新型公开了一种二维动磁式快速反射镜装置,其包括基座、反射镜支架、反射镜、音圈电机、柔性组件和位移测量传感器;所述反射镜由所述反射镜支架支撑于所述基座的前端,在所述音圈电机的作用力下作二维运动;所述柔性组件固定在所述反射镜支架和所述基座...
该专利属于北京瑞控信科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京瑞控信科技有限公司授权不得商用。
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