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一种激光精密开槽的光学系统技术方案
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文档序号:30005583
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本实用新型公开了一种激光精密开槽的光学系统,其包括激光器、第一反射镜组、第一半波片、楔形镜、将楔形镜处理后的光束均匀分为两束能量相等的第一光束与第二光束的第二分光棱镜、将第一光束反射至一第一合束棱镜中的第二反射镜组、将第二光束进行偏振后入射...
该专利属于苏州迅镭激光科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州迅镭激光科技有限公司授权不得商用。
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