下载应用于锗单晶生长的掺杂装置的技术资料

文档序号:30003828

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供了一种应用于锗单晶生长的掺杂装置,该掺杂装置包括内部形成容纳腔的装置本体以及盖体和阻挡结构,所述装置本体的顶端开设有连通所述容纳腔的开口,所述装置本体的底端设有入口;所述盖体可拆卸的盖设在所述装置本体的开口处;所述阻挡结构可移...
该专利属于有研光电新材料有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过有研光电新材料有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。