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一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉制造技术
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下载一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉的技术资料
文档序号:29978923
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本发明涉及硅锭制造技术领域,且公开了一种用于多晶硅提纯的电磁加热炉,通过复位塞活动套接在复位管的内部,使得当多晶硅放置在复位型载料板和固定式载料板的顶部,此时调节三角槽的外形呈三角且顶部的宽度大于底部的宽度,并且调节三角槽与固定式载料板和复...
该专利属于曹明贵所有,仅供学习研究参考,未经过曹明贵授权不得商用。
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