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本发明提供一种智能型坐标转换校正方法，其方法包括：接收集成电路设计公司的IC设计布局图数据；通过缺陷检测机台扫描晶圆以取得缺陷扫描数据，并经过数据处理装置将缺陷扫描数据处理成缺陷文字及影像数据文件。将缺陷影像的单位尺寸及设计布局图的单位尺寸...
该专利属于敖翔科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过敖翔科技股份有限公司授权不得商用。

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