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本实用新型涉及一种晶圆电镀装置，包括一电镀支架，在电镀支架上沿着电镀支架的长轴方向分布有数个电镀区域；设置于各个电镀区域内的电镀单元，包括一安装在电镀支架上的电镀池，在电镀池内安装有活动式导电组件；一设置于电镀池内的补液单元，包括两个补液管...
该专利属于江苏晶睿光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏晶睿光电科技有限公司授权不得商用。

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