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本发明公开了一种直驱式的射频等离子电源，包括：宽负载范围运行的逆变器、等离子体发生器、驱动单元和控制单元；所述控制单元与驱动单元连接的一端连接，所述驱动单元的另一端与宽负载运行的逆变器连接，所述宽负载运行的逆变器与等离子体发生器连接；所述宽...
该专利属于南京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京航空航天大学授权不得商用。

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