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本发明涉及一种耐高温防腐绝缘的气相沉积设备，包括气相反应室，气相反应室包括底座、隔热框架、气体入口、晶圆托盘和气体出口，底座固定设置在气相反应室的底部，隔热框架架设在底座的上方且与底座固定连接，晶圆托盘设置在底座的上表面，气体入口设置在隔热...
该专利属于北京市永康药业有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京市永康药业有限公司授权不得商用。

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