温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本公开提供一种样品表面位置在线定位测量装置，包括：定位系统，用于对待测的样品表面进行在线定位，将所述样品表面保持在参考面位置；测量系统，用于对在参考面位置的所述样品进行测量，完成所述样品表面位置在线定位测量。能够在线完成样品表面定位至系统参...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。