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下载一种直拉法单晶炉的技术资料

文档序号:29958007

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本实用新型涉及一种直拉法单晶炉及其熔体温度梯度控制方法,属于单晶硅生产技术领域。直拉法单晶炉包括炉体,炉体内设置有坩埚和加热器,坩埚包括用于盛装熔体的石英坩埚和包裹在石英坩埚外的石墨坩埚,加热器设置在石墨坩埚的外侧,石墨坩埚的底部设有坩埚轴...
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