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用于减少电容耦合的多极组件配置制造技术
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下载用于减少电容耦合的多极组件配置的技术资料
文档序号:29955400
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第一多极组件包含围绕轴线布置且配置成围绕所述轴线径向地限制离子的第一多个杆电极。与所述第一多极组件相邻设置的第二多极组件包含围绕所述轴线布置且配置成围绕所述轴线径向地限制所述离子的第二多个杆电极。所述第一多极组件围绕所述轴线的定向相对于所述...
该专利属于萨默费尼根有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过萨默费尼根有限公司授权不得商用。
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