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本实用新型提供物理气相沉积等离子体分布调控的永磁装置，涉及物理气相沉积领域。该物理气相沉积等离子体分布调控的永磁装置，包括支撑固定底座，所述支撑固定底座的上端安装有支撑固定机架，所述支撑固定机架的前端安装有垂直限位块，所述垂直限位块的右端安...
该专利属于江苏信核芯微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏信核芯微电子有限公司授权不得商用。

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