下载用于阵列制程的传送单元的技术资料

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本实用新型提供一种用于阵列制程的传送单元,包括:马达、传动齿轮、传送轴、传送轮和防滑圈;所述马达通过所述传动齿轮和所述传送轴连接,用于驱动所述传送轴转动,所述传送轮安装在所述传送轴上,用于传送阵列制程中的基板,所述防滑圈套设在所述传送轮上,...
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