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本发明提供一种理论光谱数据的优化方法、系统、电子设备及测量方法，优化方法包括：获取一在X、Y方向均具有周期性结构的样品模型；获取样品模型在X、Y方向上的收敛级次对集合；设定收敛级次对组；遍历收敛级次对集合中的收敛级次对组，获取收敛级次对组中...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

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