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偏振光学元件的装卡装置及应用其的光谱仪制造方法及图纸
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下载偏振光学元件的装卡装置及应用其的光谱仪的技术资料
文档序号:29933012
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本公开提供了一种偏振光学元件的装卡装置及应用其的光谱仪,包括:偏振光学元件;至少一个可旋转支架,与所述偏振光学元件连接,所述可旋转支架带动所述偏振光学元件绕所述偏振光学元件的轴线进行连续旋转;至少一个底座,所述底座第一端与所述可旋转支架连接...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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