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一种光刻胶母模复制成型方法技术
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文档序号:29928008
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本发明公开了一种光刻胶母模的复制成型方法。本发明首先得到PDMS阴模和带微槽的PDMS基底,同时将PDMS基底置于等离子清洗机中进行清洗;其次使用打孔器在PDMS基底上打孔,并插入移液枪枪头,在限制性空间内注入光刻胶直至完全填充整个PDMS...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
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