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本发明提供一种动态随机存取存储器装置及其制造方法。此动态随机存取存储器装置包括层间介电层及多个电容单元形成于该基板上。层间介电层具有多个电容单元容置通孔且包括依序形成于基板上的第一支撑层、复合介电层及第二支撑层。复合介电层包括交替地堆叠的至...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。

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