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本实用新型提供一种湿法清洗设备，所述湿法清洗设备包括去离子水清洗槽及过滤装置，所述过滤装置通过液体管路连接于去离子水供应源及所述去离子水清洗槽之间，用于将所述去离子水供应源供应的去离子水经过滤后输送至所述去离子水清洗槽。本实用新型的湿法清洗...
该专利属于苏州恩腾半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州恩腾半导体科技有限公司授权不得商用。

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