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本实用新型公开了一种新型三自由度柔性精密定位平台，包括压电陶瓷驱动器、柔性铰链、连接板、第一可动横梁、第二可动横梁、动平台、安装槽、基板和连接机构，本实用新型通过设置了连接机构于压电陶瓷驱动器外侧，通过向下推动推杆带动齿条向下移动，而齿条则...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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