【技术实现步骤摘要】
一种新型三自由度柔性精密定位平台
本技术涉及定位平台相关领域，具体是一种新型三自由度柔性精密定位平台。
技术介绍
随着科技的发展，在超精密加工、微电子工程、生物工程、纳米技术等领域都迫切需要亚微米级甚至纳米级的精密定位技术，最典型的应用在于纳米器件的制造生产，纳米器件包括纳米电子器件和纳米光电器件，可广泛应用于电子学、光学、微机械装置、新型计算机等，是当今新材料与新器件研究领域中最富有活力的研究领域，也是元器件小型化、智能化、高集成化等的主流发展方向，纳米器件由于具有潜在的巨大市场和国防价值，使得其设计和制造的方法、途径、工艺等成为众多科学家、政府和大型企业研究和投资的热点，所以大力发展精密定位技术是大势所趋，是创新科技进步的具体体现，而三自由度精密定位平台为其中的一种。当三自由度精密定位平台在使用的过程中需要使用到压电陶瓷驱动器，而压电陶瓷驱动器结构相对复杂，并且通常采用卡接的方式进行安装，其安装步骤相对较为复杂，不便于后期的拆卸更换。
技术实现思路
因此，为了解决上述不足，本技术在此提供一种新型三...
【技术保护点】
1.一种新型三自由度柔性精密定位平台，包括压电陶瓷驱动器（1）和柔性铰链（2），所述压电陶瓷驱动器（1）设置有四个于安装槽（7）内侧四端，且压电陶瓷驱动器（1）输出端相连接于柔性铰链（2）；/n其特征在于：还包括连接机构（9），所述连接机构（9）设置于压电陶瓷驱动器（1）外侧，所述连接机构（9）包括U型板（91）、安放槽（92）、推杆（93）、放置槽（94）、齿条（95）、弹簧（96）、齿轮（97）、传动机构（98）、第二连接板（99）、T型卡板（910）、复位弹簧（911）和卡槽（912），所述U型板（91）内侧锁合于压电陶瓷驱动器（1）侧表面，且U型板（91）活动伸入于...
【技术特征摘要】
1.一种新型三自由度柔性精密定位平台，包括压电陶瓷驱动器（1）和柔性铰链（2），所述压电陶瓷驱动器（1）设置有四个于安装槽（7）内侧四端，且压电陶瓷驱动器（1）输出端相连接于柔性铰链（2）；
其特征在于：还包括连接机构（9），所述连接机构（9）设置于压电陶瓷驱动器（1）外侧，所述连接机构（9）包括U型板（91）、安放槽（92）、推杆（93）、放置槽（94）、齿条（95）、弹簧（96）、齿轮（97）、传动机构（98）、第二连接板（99）、T型卡板（910）、复位弹簧（911）和卡槽（912），所述U型板（91）内侧锁合于压电陶瓷驱动器（1）侧表面，且U型板（91）活动伸入于基板（8）顶端面后端开设的安放槽（92）内侧，所述推杆（93）穿过基板（8）顶端面后相连接于齿条（95）顶端面中部，所述放置槽（94）设置于基板（8）内部后端，所述齿条（95）滑动安装于放置槽（94）内侧右端面，且齿条（95）通过弹簧（96）相连接于放置槽（94）内侧底端面，所述齿轮（97）前端面中部通过转轴与安放槽（92）内侧前端转动连接，且齿轮（97）通过传动机构（98）带动第二连接板（99）左右移动，并且齿轮（97）与齿条（95）相互啮合，所述T型卡板（910）外侧右端贯穿于第二连接板（99）左端面中部，且T型卡板（910）穿过安放槽（92）内侧左端面顶部后活动伸入于U型板（91）右端面开设的卡槽（912）内侧，所述复位弹簧（911）两端分别固定连接于T型卡板（910）内侧左端面和第二连接板（99）左端面中部。
2.根据权利要求1所述一种新型三自由度柔性精密定位平台，其特征在于：所述柔性铰链（2）与连接板（3）固定连接，所述连接板（3）安装于第一可动横梁（4）外侧，所述第一可动横梁（4）紧固于第二可动横梁（5）后端面，所述第二可动...
【专利技术属性】
技术研发人员：张旺旺，黄道阳，陈晓舟，刘韶轩，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：新型
国别省市：山西;14
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