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本实用新型公开了一种氧化亚硅的生产装置，包括真空室、原料容器、加热源、支架、析出基体，原料容器、加热源、支架、析出基体均位于真空室内，加热源设置在原料容器上或者围绕在原料容器的周围，析出基体设置在支架上，还包括将氧化亚硅从析出基体上刮下来的...
该专利属于孚林(常州)新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过孚林(常州)新材料科技有限公司授权不得商用。

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