下载高纯多晶硅的低消耗生产系统的技术资料

文档序号:29884802

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本实用新型公开了一种高纯多晶硅的低消耗生产系统,系统包括还原炉、闪蒸罐、换热器、气化器和精馏装置。还原炉冷却水夹套内的加压冷却水借助闪蒸罐转变为高品位水蒸气,用以加热精馏装置,而换热后的水蒸气经加压、液化后又输送至还原炉冷却水夹套内充当新鲜...
该专利属于亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司授权不得商用。

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