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本发明涉及太阳电池技术领域，尤其涉及一种钝化接触晶硅太阳电池制造装置及方法，该装置包括依次连通的预处理腔、多个镀膜腔和出片腔，多个镀膜腔的两端均连通有过渡腔，过渡腔的两端均具有插板阀；预处理腔、镀膜腔、过渡腔和出片腔内还具有传输机构、加热机...
该专利属于江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏大学授权不得商用。

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