下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:29876630

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一种半导体结构及其形成方法,形成方法包括:提供基底,所述基底上形成有伪栅结构,所述伪栅结构的侧壁形成有侧墙,所述伪栅结构和侧墙露出的所述基底上形成有介质层,所述介质层露出所述伪栅结构的顶部;去除部分高度的所述侧墙,形成剩余侧墙;形成所述剩余...
该专利属于中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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