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本发明公开了基于电场与飞秒激光耦合作用微悬臂梁探针的成型方法，按如下步骤：步骤一，将一片尺寸在微纳米范围内的硅片置于高精度显微镜下；步骤二，将硅片的中部固定，调节飞秒激光性能参数；在硅片的其中一侧进行探针成型；步骤三，进行飞秒激光照射硅片的...
该专利属于浙江工商大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工商大学授权不得商用。

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