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本申请涉及一种衍射型硅光加速度传感器制备工艺及得到的传感器，光纤在功能上分为了入射光纤和出射光纤，通过读取出射光纤的光强变化，既可以得到加速度信息。当布拉格反射镜阵列和布拉格反射镜的间距是一个光纤发出光线波长时，两个表面反射的光是同相，可视...
该专利属于欧梯恩智能科技(苏州)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过欧梯恩智能科技(苏州)有限公司授权不得商用。

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