温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供一种薄膜杨氏模量的确定方法、装置及系统，其中，所述方法包括：获取声速值与声波脉冲参数之间的参考线性关系和待测薄膜的声波传播信号谱；在所述声波传播信号谱中，确定出目标峰值位置；根据所述参考线性关系和所述目标峰值位置下的目标声波...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。