温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种半导体制造设备部件表面痕量元素污染的非破坏性检测方法,该方法基于无尘棉签擦拭的间接取样方式，将制造设备部件表面痕量元素通过棉签擦拭出来，继而用酸浸泡棉签一段时间，最后取出棉签，利用ICP‑MS测试溶液中元素含量,对零部件表面...
该专利属于上海富乐德智能科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海富乐德智能科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。