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一种硅基OLED微显示器件膜层去除工艺，属于硅基OLED微显示器件制备技术领域，该膜层去除工艺包括将待处理的晶圆上料并定位在作业平台上，并完成激光对位；启动激光系统，对目标膜层采用单点多次激光作业，去除目标膜层，同时对作业区域进行氮气吹扫；...
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