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本发明提供了一种用于估计生产衬底中由于衬底支撑件引起的应力的测试衬底(W)，所述测试衬底具有被分为预定义部分的支撑表面(SS)，其中所述预定义部分包括：至少一个第一部分(1)，具有在所述至少一个第一部分上基本均匀的第一摩擦系数；以及至少一个...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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