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柱塞(10)具有导电性的基材层(11)、和设于上述基材层的外侧的以铂族元素为主成分的铂族层(13)。柱塞中，母材为上述基材层，在与检查对象物接触的顶端部中，在上述基材层的外侧具有上述铂族层。接触探针(1)具备上述柱塞、和端部与上述柱塞抵接的...
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