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晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法制造方法及图纸
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文档序号:29762269
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一种晶圆载盘的卸载装置及其卸载方法,在第一、二机械臂活动范围内分别建置一载盘、一主校正机构、一晶圆校正机构及一置料机构,在第一机械臂上设有影像攫取组件及晶圆定位件装卸机构,在第二机械臂上设有晶圆取放机构,利用主校正机构分别校正影像攫取组件、...
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