下载重新布线层的制备方法及其结构的技术资料

文档序号:29762213

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本发明提供一种重新布线层的制备方法及其结构,该方法包括:提供支撑基底,并于其上形成扩散阻挡层;通过涂胶、曝光、显影工艺,于扩散阻挡层上形成图形化的光刻胶层;于扩散阻挡层上形成上端小下端大的类喇叭状的形貌的金属线层;去除图形化的光刻胶层;采用...
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