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一种半导体芯片晶圆棒转移分切装置制造方法及图纸
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下载一种半导体芯片晶圆棒转移分切装置的技术资料
文档序号:29745205
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一种半导体芯片晶圆棒转移分切装置,包括:支撑体,包括柜体,柜体下端两侧均安装有一对调节机构;上料组件,设于支撑体的一端,包括上移机构,上移机构设有一对放置机构;转移组件,设于支撑体的上端,包括平移机构,平移机构设有一对升降机构,升降机构的下...
该专利属于四川洪芯微科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过四川洪芯微科技有限公司授权不得商用。
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