下载一种针对COF加工的激光整形光路装置的技术资料

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本实用新型涉及新型激光加工技术领域,特指一种针对COF加工的激光整形光路装置,包括激光光源、半波片、高速偏振旋转器、偏振分光晶体一、光学衍射装置、偏振分光晶体二、扫描装置与样品平面,激光光源与半波片对应设置,半波片与高速偏振旋转器对应设置,...
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