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本申请涉及一种高安全性四氟化硅缓冲罐，其包括缓冲罐本体，所述缓冲罐本体上连通有进气管和出气管，所述进气管背离所述缓冲罐本体的一端还连通设置有前处理装置，所述前处理装置包括过滤罐和除湿罐，所述过滤罐与四氟化硅输送管道连通，所述过滤罐内设有活性...
该专利属于北京广厦大鑫石化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京广厦大鑫石化设备有限公司授权不得商用。

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