一种高安全性四氟化硅缓冲罐制造技术

本申请涉及一种高安全性四氟化硅缓冲罐，其包括缓冲罐本体，所述缓冲罐本体上连通有进气管和出气管，所述进气管背离所述缓冲罐本体的一端还连通设置有前处理装置，所述前处理装置包括过滤罐和除湿罐，所述过滤罐与四氟化硅输送管道连通，所述过滤罐内设有活性炭和硅藻土，所述除湿罐与所述过滤罐连通设置，所述除湿罐与所述进气管连通设置，所述除湿罐内设置有除湿组件。本申请具有降低四氟化硅水解量的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高安全性四氟化硅缓冲罐
本申请涉及四氟化硅储存设备
，尤其是涉及一种高安全性四氟化硅缓冲罐。
技术介绍
四氟化硅在电子和半导体行业中具有重要作用，主要用于硅化钽和氮化硅的蚀刻剂、P性掺杂剂以及外延沉积扩散硅源，还可以用于制备点自己硅烷或多晶硅，此外，四氟化硅还广泛应用于水泥制造、电子材料、太阳能电池元件、复印机感光鼓、特大规模集成电路等，但四氟化硅具有很强的吸湿性，在较少水分含量下就会发生分解，分解产物具有一定的毒性，而且四氟化硅对人体具有很强的毒性，对人体呼吸道、神经系统、血液系统产生危害，因此对四氟化硅的储存和转运的设备具有较高的要求。
技术实现思路
为了改善四氟化硅储存时容易水解的问题，本申请提供一种高安全性四氟化硅缓冲罐。本申请提供的一种高安全性四氟化硅缓冲罐采用如下的技术方案：一种高安全性四氟化硅缓冲罐，包括缓冲罐本体，所述缓冲罐本体上连通有进气管和出气管，所述进气管背离所述缓冲罐本体的一端还连通设置有前处理装置，所述前处理装置包括过滤罐和除湿罐，所述过滤罐与四氟化硅输送管道连通，所述过滤罐内本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高安全性四氟化硅缓冲罐，包括缓冲罐本体(1)，所述缓冲罐本体(1)上连通有进气管(12)和出气管(14)，其特征在于：所述进气管(12)背离所述缓冲罐本体(1)的一端还连通设置有前处理装置(2)，所述前处理装置(2)包括过滤罐(21)和除湿罐(22)，所述过滤罐(21)与四氟化硅输送管道连通，所述过滤罐(21)内设有活性炭和硅藻土，所述除湿罐(22)与所述过滤罐(21)连通设置，所述除湿罐(22)与所述进气管(12)连通设置，所述除湿罐(22)内设置有除湿组件。/n

【技术特征摘要】
1.一种高安全性四氟化硅缓冲罐，包括缓冲罐本体(1)，所述缓冲罐本体(1)上连通有进气管(12)和出气管(14)，其特征在于：所述进气管(12)背离所述缓冲罐本体(1)的一端还连通设置有前处理装置(2)，所述前处理装置(2)包括过滤罐(21)和除湿罐(22)，所述过滤罐(21)与四氟化硅输送管道连通，所述过滤罐(21)内设有活性炭和硅藻土，所述除湿罐(22)与所述过滤罐(21)连通设置，所述除湿罐(22)与所述进气管(12)连通设置，所述除湿罐(22)内设置有除湿组件。


2.根据权利要求1所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐，其特征在于：所述除湿组件包括设置在所述除湿罐(22)内的布气管(221)，所述布气管(221)一端与所述过滤罐(21)连通，所述布气管(221)另一端密封设置，所述布气管(221)侧壁上连通有若干布气支管(222)，所述除湿罐(22)内设有分子筛。


3.根据权利要求2所述的一种高安全性四氟化硅缓冲罐，其特征在于：所述布气支管(222)上开设有若干排气孔(223)，所述排气孔(223)沿所述布气支管(222)长度方向均匀间隔设置。

【专利技术属性】
技术研发人员：刘立军，刘翠红，
申请(专利权)人：北京广厦大鑫石化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11