下载晶硅电池高温低氧退火工艺用夹持装置的技术资料

文档序号:29694551

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本发明提供了一种晶硅电池高温低氧退火工艺用夹持装置,包括安装板,安装板左右两侧对称设有晶硅电池铲升机构,底面的前后两侧对称设有晶硅电池升运机构;晶硅电池铲升机构包括支撑板,且两晶硅电池铲升机构的支撑板相互平行设置,支撑板的底部设有抵推气缸,...
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