下载冷却治具及基板磨边方法的技术资料

文档序号:29692751

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本申请提供了一种冷却治具和基板磨边方法,冷却治具,包括:承接部,所述承接面用于通过顶面承接基板,所述基板的至少一个边框位于所述顶面外;多个冷却部,连接于所述承接部,所述冷却部上形成有冷却槽,所述冷却槽内置有冷却液,所述冷却液的液面高于所述承...
该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。

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