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纳米孪晶铜结构的电沉积制造技术
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下载纳米孪晶铜结构的电沉积的技术资料
文档序号:29687553
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在衬底上沉积具有高密度纳米孪晶的铜结构。用于沉积纳米孪晶铜结构的电度条件可包含施加在恒定电流与没有电流之间交变的脉冲电流波形,其中没有施加电流的持续时间明显大于施加恒定电流的持续时间。在一些实现方案中,通过施加脉冲电流波形后接恒定电流波形而...
该专利属于朗姆研究公司所有,仅供学习研究参考,未经过朗姆研究公司授权不得商用。
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