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本实用新型公开了一种多合一晶圆检测装置，属于晶圆检测设备领域，通过横梁、横梁上检测Z轴、以及检测Z轴上第一连接件的对应设置，配合不同检测模组上对应形式第二连接件的设置，使得第二连接件可在与第一连接件匹配后实现不同检测模组在横梁上的匹配，实现...该专利属于武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉精测电子集团股份有限公司;武汉精立电子技术有限公司授权不得商用。