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涉及晶圆载具技术领域,本申请公开一种治具,包括工作台,所述工作台设有至少一个第一凹槽和至少一个用于标胶的第二凹槽,所述第一凹槽的侧壁与晶圆抵接;所述第二凹槽设于所述第一凹槽的外周,且所述第二凹槽与所述第一凹槽相通。本实用新型,利用第一凹槽放...该专利属于深圳市芯思杰联邦国际科技发展有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市芯思杰联邦国际科技发展有限公司授权不得商用。
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涉及晶圆载具技术领域,本申请公开一种治具,包括工作台,所述工作台设有至少一个第一凹槽和至少一个用于标胶的第二凹槽,所述第一凹槽的侧壁与晶圆抵接;所述第二凹槽设于所述第一凹槽的外周,且所述第二凹槽与所述第一凹槽相通。本实用新型,利用第一凹槽放...