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本发明提供一种半导体工艺设备的告警方法，包括：在告警事件发生时，获取对应的告警对象的告警描述语句中预设状态数据的通道全路径；根据通道全路径，获取预设状态数据的名称和值；采用获取的预设状态数据的名称和值替换通道全路径，更新告警描述语句；根据更...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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