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本实用新型实施例提供一种硅片沉积设备，包括：加热模块、进气管路以及反应腔室；加热模块用于对预设的加热区域加热；反应腔室设置在加热区域内；进气管路包括进气端口、出气端口以及将进气端口连通至出气端口的加热管道，进气端口连通至反应腔室外部，加热管...
该专利属于浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司授权不得商用。

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