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本发明公开了一种半导体控温装置和使用其的自动光学检测设备，所述半导体控温装置包括：定位件，定位件沿第一方向延伸；多个冷却单元，多个冷却单元在第一方向上依次设置于定位件，冷却单元在定位件上沿第一方向的位置可调，冷却单元包括在垂直于第一方向的第...
该专利属于苏州维嘉科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州维嘉科技股份有限公司授权不得商用。

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