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一种表面声波谐振器(100)包括分层衬底,该分层衬底包括载体衬底(110)和具有低声速的介电层(112)。另一介电层(122)设置在压电层(113)和叉指电极(131、132)上,另一介电层(122)具有低于载体衬底(110)的声速的声速和...该专利属于RF360欧洲有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过RF360欧洲有限责任公司授权不得商用。
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一种表面声波谐振器(100)包括分层衬底,该分层衬底包括载体衬底(110)和具有低声速的介电层(112)。另一介电层(122)设置在压电层(113)和叉指电极(131、132)上,另一介电层(122)具有低于载体衬底(110)的声速的声速和...