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反应室(100)被设计用于反应器(100)，反应器用于在基底上沉积半导体材料的层；反应室包括管(110)和注射器(20)以及保持器(30)，管(110)由石英制成并且具有圆柱形或棱柱形的形状并且围绕反应和沉积区；注射器(20)被布置成将前体...
该专利属于洛佩诗公司;株式会社电装所有，仅供学习研究参考，未经过洛佩诗公司;株式会社电装授权不得商用。

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