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本实用新型公开了一种晶圆搬运翻转装置，所述晶圆搬运翻转装置包括翻转吸附单元、旋转吸附平台、结构单元、滑道单元，所述翻转吸附单元设置在滑道单元上，与滑道单元连接，所述旋转吸附平台设置在翻转吸附单元的前方，与结构单元连接，所述结构单元设置在旋转...
该专利属于苏州威百斯特智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州威百斯特智能科技有限公司授权不得商用。

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