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本申请公开了一种晶圆片清洗花篮，包括手提杆，手提杆的下端连接有底座，底座内设有若干圆孔和圆柱，圆孔用于方便液体进入，圆柱用于支撑晶圆片。具有以下优点：能够起到两面都能够充分清洗的效果，降低因晶圆片表面的颗粒和脏污对激光器各性能的影响。...该专利属于潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过潍坊先进光电芯片研究院;中国科学院半导体研究所授权不得商用。