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基于Z字型伸缩式微动摇摆晶圆充分干燥装置，其特征是，包括机身、水箱、雾化器、晶圆顶出机构、晶舟摇摆机构以及升降机构；所述水箱安装于机身，所述雾化器位于水箱顶部；所述晶舟摇摆机构、晶圆顶出机构分别安装于升降机构，将载有晶圆片的晶舟放置于晶舟摇...
该专利属于扬州大学所有，仅供学习研究参考，未经过扬州大学授权不得商用。

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